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专题:科技成长主线贯穿二季度 震荡上行中布局细分龙头
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随着AI带来的全球算力需求爆发 ,我国半导体设备行业进入发展黄金期,刻蚀机作为半导体制造中的核心设备之一,其技术水平直接决定了芯片的精度 、性能和功耗 。
中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理尹志尧介绍:“我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术 ,后来国际三大设备公司都按这个方向做,现在100%的CCP刻蚀机都在用这个方法。”
尹志尧中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理
被誉为“中国刻蚀机之父 ”的中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理尹志尧,做客央视财经《对话》栏目 ,以《“刻”出来的长期主义》为题,畅谈归国创业、打破国际垄断、拓展泛半导体领域的奋斗历程,分享对产业竞争与发展蓝图的深度思考。
60岁归国,尹志尧放弃美国百万年薪与顶尖公司的高管职位 ,带着数百项专利的技术积累毅然回国 。他的创业之路从一张白纸起步:“回国是非常敏感的一件事情,我们让所有回国的人签字画押,不许带任何文件 ,计算机也是新的,完全从零开始。”但这份“从一张白纸开始 ”的底气,来自他深耕行业数十年的技术沉淀:“在美国做了20年 ,我发明的东西都是自己想出来的,过去能想出来,现在就能想出更好的 ,我们绝不重复国外的技术,一定要有创新。”技术创新 、产品差异化、知识产权保护,成为中微创业初期坚守的三大核心原则 。
从零起步的自主创新 ,中微用三年时间打破了国外刻蚀机领域的长期垄断。尹志尧介绍:“我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术,后来国际三大设备公司都按这个方向做,现在100%的CCP刻蚀机都在用这个方法。”此外,中微首创的双台机设计 ,实现了单台设备同时刻蚀两片硅片,材料节省30%以上,且成本更低、性能更稳定。2007年 ,中微就推出了首台双反应台国产刻蚀设备,而这份突破的背后,离不开国产半导体产业的“双向奔赴 ” 。
尹志尧与张汝京接受采访
尹志尧回忆创业初期的支持:“还没决定回来的时候 ,我就问张汝京博士,如果我回国做设备,你支持吗?”中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京表示:“我一定支持。”面对国产设备的试错风险 ,张汝京带头“吃螃蟹 ”:“试新的设备一定会有风险,这个时间成本我们来负责。”正是这份包容与信任,让中微设备快速完成验证迭代 ,尹志尧透露:“到现在为止,中芯国际的设备至少800台来自中微 。”尹志尧在节目中呼吁更多下游客户支持国产设备:“希望国内客户能给设备公司更多机会。 ”张汝京也表示:“如果没有人使用,设备永远不会进步。”
从刻蚀设备到泛半导体领域,中微的长期主义持续拓展新边界 。2023年12月 ,中微决定进军大平板显示设备领域——这一领域17种核心工艺设备全部依赖进口,而全球70%的OLED生产线都建在中国,自主可控迫在眉睫。尹志尧坦言:“按行业经验 ,开发一台150吨重 、两层半楼高的超大平板设备,至少需要3到5年,甚至可能7年。但中微团队用12个月就把设备做好并实现运转 ,18个月便运抵生产线,两年内实现核准投产 。我们现在有能力做最先进的设备。”
从技术回流到身份回归,82岁的尹志尧用了22年时间 ,将一家初创公司打造成市值超2000亿元的行业标杆。面对行业沉浮,他始终坚信,半导体设备是产业的“底座” ,需要长期投入与开放竞争 。
来源:央视财经
(文章来源:央视财经)


